压力式光纤MEMS F-P液位传感器的研究

据统计，仅在化工行业，全国化学液体及热力锅炉的液位监测仪器年需求量就达百万套, 现有的液位仪器仅能满足化学介质液位监控的20%，尚有80%化学液体的液位监控缺乏有效的检测手段。因此研制适用于恶劣工作条件下的液位监测装置将有广阔的市场前景，具有巨大的经济效益。本项目针对恶劣工作条件下的液位监测问题，提出一种具有新型探头结构的压力式光纤MEMS F-P液位传感器设计，能有效消除弹性膜非平坦性效应和探头的温度敏感性，提高了传感器的性能；提出一种双波长正交优化解调方法用于压力式光纤MEMS F-P液位传感器信号的解调，提高系统解调精度并降低成本。