危化品状态检测MEMS传感器产业化关键技术与应用

近年来，随着我国工业化进程的加快，能源和化工原料的生产、运输量急剧增加，我国已发生多起危化品重特大生产安全事故，造成及其严重的后果。
       本项目着重解决对危化品介质运输载体的空间姿态进行监测所需的MEMS 倾角传感器的设计、制造、封装、测试、可靠性、信号处理与系统集成、批量化生成等关键技术。从而在危化品的生产、运输、仓储和使用等环节中，对其进行全过程的安全监测与跟踪。通过技术途径实现危化品全寿命周期的监测与跟踪，配套以紧急事件应急处理机制，从而减少和避免事故的发生，避免和降低事故危害。目前已在中集和相关领域中应用，达到批量生产能力。已申请发明专利3项。
       应用领域：危化品的生产、运输、仓储和使用等环节的安全监测与跟踪；
       技术指标：工作温度：-40℃－85℃
       倾角测量维数：2维
       倾角量程：±90°
       输出信号：1-4V,0°对应2.5V，线性输出
       分辨率：17mV/度
       非线性度：±3％FS
       频率响应：10Hz
       抗冲击：2000g
       工作电压： 5 V
       电流消耗：≤5mA（不包括调理和处理）
       合格率：90%以上
       封装尺寸：18mm x 20mm
       源代码：标准信号调理算法(包括标定和自检等)和标准C程序。
       创新内容：传感器芯片结构设计；倾角传感器解耦、标定、温漂补偿算法设计；传感器批量标定装置；
       成熟程度：通过具备资质的第三方质量监督检测，并在中集集团小批量装车使。