HD-1A/B型冷等离子体材料改性处理仪

主要技术参数：             
      反应室:直径230/300mm,
      高度≥250/300mm；                
      本底真空度：≤3Pa；
      射频电源：13.56MHz, 0-500W；
      工作真空度：10-100Pa；
      主要配置：反应室、真空系统、充气系统、真空测量系统、射频电源、仪器支架和操作面板等；         
      占地面积：L180cm*W180cm*H158cm。